安定した給気露点温度を生み出す、クリーンルーム用に開発した外気処理用空調機です。分散型蒸気加湿方式(スタンドパイプ)を採用し、冬期低温加湿の蒸気噴霧を実現。24時間運転に対応したベルトレス仕様、リミットロード特性を持つ2ファンを組み込み、緊急時のバックアップ運転も可能。さまざまなクリーンルームシステムにお応えします。

クリーンルーム内には、さまざまな生産機器が各所に配置されています。生産機器には発熱するタイプのものも多くあり、そうした環境のなかで緻密に温度管理をするには、生産機器からの熱負荷を発生箇所で顕熱冷却コントロールすることが最良と考えられています。ドライコイルシリーズは、熱の発生箇所で適切な熱交換を実現し、環境を良好な状態に保ちます。